Mikromontage
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Der Einsatz von Mikrosystemen
erfordert eine Schnittstelle zwischen der Makrowelt / dem Anwender
und dem Mikrosystem. Viele Mikrosysteme erfordern spezielle Montagetechniken,
um einerseits hohe geforderte Präzision zu erreichen, andererseits
erfordern Mikrosysteme häufig auch ein spezielles Handling, um die
Funktionsfähigkeit des Mikrosystems zu gewährleisten.
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Mikrotechnisch
gefertigtes Stecksystem
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Dieses
Stecksystem wurde zur Montage zweier getrennt gefertigter
Mikrobauteile realisiert, für die eine Klebeverbindung nicht
geeignet war. Die Montagetoleranz betrug dabei weniger als
5 µm.
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Der
kleinste "Teufelsknoten" der Welt
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Der "Teufelskonten" besteht aus sechs Einzelteilen, die in
einer bestimmten Reihenfolge montiert werden müssen. Die Bauteile
sind mikrotechnisch, unter Verwendung eines Photoresists mit
hohem Aspektverhältnis, aus Metall hergestellt. Die Länge
der einzelnen Teile beträgt ca. 600 µm und der Querschnitt
ca. 100 µm * 100 µm.
Montageanleitung
für den Knoten! |
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Auf
die Stirnfläche einer Glasfaser montierte optische Sonde
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Dieses Mikromontagebeispiel zeigt eine Sonde für die optische
Rasternahfeldmikroskopie. Dabei wurde zunächst auf Waferebene
die eigentliche Sonde in großer Stückzahl hergestellt. Die
Sonde wurde auf einer kreisrunden Membran, befestigt an zwei
Halteärmchen mit Sollbruchstellen über einer Öffnung im Siliziumwafer
gefertigt. Danach wurde sie durch Herausbrechen auf die Stirnfläche
einer monomodigen Glasfaser montiert, wobei die Glasfaser
halbautomatisch mittels aktiver Justage positioniert wurde.
Dazu wurde Laserlicht in die Glasfaser eingekoppelt, das aus
der Sonde austretende Licht detektiert und durch laterale
Positionierung der Glasfaser maximiert.
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