Mikrospitzen
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Zur Herstellung von Mikrospitzen
wie sie unter anderem in der Rasersondenmikroskopie (engl.Abk.:SPM) eingesetzt
werden bietet Micromotive sein Know-how an. Dies umfasst nicht
nur die reine isotrop geätzte Spitze, sondern auch Spitzen, die
mit einer oder mehreren Beschichtungen versehen und am vordersten
Ende der Spitze geöffnet sind. So können die Spitzen für unterschiedliche
Funktionen modifiziert werden.
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Konische Spitze
aus einem Material
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Isotrop geätzte Spitzen können aus einkristallinem Silizium
oder auch aus amorphem Siliziumnitrid hergestellt werden.
Bei Siliziumspitzen können minimale Spitzenradien von 10 nm
erreicht werden. Typische Radien für Nitridspitzen liegen
bei 20-30 nm. Dabei sind Spitzenhöhen von minimal 1 µm realisierbar.
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Konische
Spitze mit Ummantelung
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Zur speziellen Funktionalisierung kann die Spitze mit verschiedenen
Metallen, aber auch dielektrischen Materialien wie beispielsweise
Siliziumdioxid beschichtet und am vordersten Ende der Spitze
geöffnet werden. Die Öffnung der Beschichtung kann im Bereich
von einigen 100 nm variiert werden.
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Konische Spitze mit zweifacher Ummantelung
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Bei mehrfacher Beschichtung der Spitze erlauben spezielle
Prozesstechniken die selektive Öffnung der einzelnen Schichten.
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