Prinzip

Durchstrahlt polarisiertes Licht einen Polaristationsfilter, so hängt die transmittierte Intensität von der Ausrichtung des E-Feld Vektors zum Polarisationsfilter ab. Ist der E-Feld Vektor parallel zur Polarisationsrichtung des Filters orientiert, wird die maximale Intensität transmittiert, ist die Orientierung senkrecht, erreicht die transmittierte Intensität ihr Minimum.

Bei diesem Detektor sind 32 Polarisationsfilterelemente kreisförmig angeordnet. Die transmittierte Intensität wird von einem ebenfalls 32 fach segmentierten Detektor für jedes Filterelement aufgenommen. So kann die Polarisation mit 32 Stützstellen gemessen werden.

 

Prinzipbild eines Polarisationsdetektors

Prinzipbild eines Polarisationsdetektors

  

 

Messergebniss von elliptisch polarisiertem Licht

Messergebniss von elliptisch polarisiertem Licht
Realisierung:

Zur Aufnahme der Filterelemente wird eine Siliziumaufnahme auf Waferbasis gefertigt. Dabei werden mit einem zweiseitigen Ätzprozess Kavitäten zur Aufnahme jedes einzelnen Filtersegments geätzt. In diese Taschen werden die zuvor gesägten Filterelemente eingelegt und verklebt. Bei der Herstellung des segmentierten Polarisationsfilters ist absolute Sauberkeit der entscheidende Faktor, denn jeder Partikel an der Oberfläche streut das einfallende Licht und zerstört dadurch lokal die Polarisationsinformation.

Verwendete Technologie:
  • 3D Siliziumstrukturierung
  • Mikromontage
Ähnliche Anwendungsmöglichkeiten:
  • Farbräder zur Messung der Farbzahl
  

32 fach segementierte Polarisationsfiltereinheit

32 fach segementierte Polarisationsfiltereinheit

 

Detektorplatine mit Polarisationsfiltereinheit

Detektorplatine mit Polarisationsfiltereinheit