|
Neben den Standardverfahren
der Mikrosystem- technik, wie Lithografie, chemische und physikalische
Ätzprozesse und verschiedenen Beschichtungsverfahren, liegen die
technologischen Schwerpunkte von Micromotive in den Bereichen
SU-8-Technik, Herstellung von Mikrospitzen, dreidimensionale Siliziumstrukturen,
Herstellung ultraplanrer Strukturen und der Mikromontage kleinster
Bauteile. Aus der Kombination dieser Verfahren entwickeln wir den
optimalen Herstellungsprozess für die mikrotechnische Komponente
unserer Kunden.
|
|
 |