Neben den Standardverfahren der Mikrosystem- technik, wie Lithografie, chemische und physikalische Ätzprozesse und verschiedenen Beschichtungsverfahren, liegen die technologischen Schwerpunkte von Micromotive in den Bereichen SU-8-Technik, Herstellung von Mikrospitzen, dreidimensionale Siliziumstrukturen, Herstellung ultraplanrer Strukturen und der Mikromontage kleinster Bauteile. Aus der Kombination dieser Verfahren entwickeln wir den optimalen Herstellungsprozess für die mikrotechnische Komponente unserer Kunden.
  Wafercharge im Prozess